光刻机领域国内接近世界先进水平，9nm线宽光刻实现突破 tellmetruth2017-03-20 03:42:31

集微网消息，SEMICON China 2017开幕日即3月14日，上海微电子装备（集团）股份有限公司（后简称“SMEE”）宣布，SMEE 与荷兰公司 ASML 签署战略合作备忘录（MoU），为双方进一步的潜在合作奠定了基础。